Process Mining Applied to the Test Process of Wafer Scanners in ASML

Rozinat, A.; de Jong, I. S. M.; Günther, C. W.; van der Aalst, Wil M. P.

(2009) [Fachzeitschriftenartikel]

IEEE transactions on systems, man, and cybernetics / C
Band: 39
Ausgabe: 4
Seite(n): 474-479

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