Process Mining Applied to the Test Process of Wafer Scanners in ASML

Rozinat, A.; de Jong, I. S. M.; Günther, C. W.; van der Aalst, Wil M. P.

(2009)
Fachzeitschriftenartikel

In: IEEE transactions on systems, man, and cybernetics / C
Band: 39
Heft: 4
Seite(n)/Artikel-Nr.: 474-479

Einrichtungen

• Fachgruppe Informatik [120000]
• Lehrstuhl für Informatik 9 (Process and Data Science) [122510]